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潔凈室的檢測與認證--高效空氣過濾器檢漏

更新時間:2021-06-25  |  點擊率:2245

高效空氣過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能實驗檢測(如DOP測試等),并提供合格證(性能實驗結(jié)果)。對于5級(100級)以上潔凈室所使用的高效空氣過濾器,在現(xiàn)場應再次進行高效空氣過濾器本體的性能檢測,同時進行檢漏試驗以確認高效空氣過濾器是否正確安裝。在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中(如0.1um,1級),由于新風量往往僅是循環(huán)風量的百分之幾,經(jīng)過稀釋上風側(cè)也變成6級(1000級)的程度。在這種情況下,就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。
1、檢測要求
(1)一般采取粒子計數(shù)器法進行檢漏,被檢高效空氣過濾器必須已檢測過風量,并在設(shè)計風速的80%~120%進行。
(2)對于被檢高效空氣過濾器上風側(cè)的微粒濃度符合下列要求:
對受控微粒≥0.5um的濃度,必須大于等于3.5*104pc/L
對受控微粒≥0.1um的濃度,必須大于等于3.5*106~3.5*107pc/L
2、檢測方法
采用掃描法對高效空氣過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測,監(jiān)測點應距被測表面20~30mm,測頭以5~20mm/s的速度移動,對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。粒子計數(shù)器的小采樣量大于1L/min。
3、檢測設(shè)備
(1)光散射粒子計數(shù)器
其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象,將采樣空氣中微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù),利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系,測量微粒粒徑大小。光散射粒子計數(shù)器一般由氣路系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。
(2)激光粒子計數(shù)器
其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同,但因采用了比光散射粒子計數(shù)器強100倍的氦-氖激光光源,所以微粒粒徑的檢測范圍達0.1μm。
(3)凝聚核粒子計數(shù)器
它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑粒子,進行微粒粒子濃度測定。工作原理為:采樣空氣中的微粒,經(jīng)過溫度為35℃的飽和管,然后在溫度為10℃的凝聚管內(nèi)由媒介液進行凝聚,直至增大到能夠檢測到散射光的粒徑為止,其他部分與一般光散射粒子計數(shù)器相同。
4、合格標準
GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定,由高效空氣過濾器下風側(cè)泄露濃度換算成的透過率來衡量是否合格,其合格標準如下:
對于高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤2K
對于超高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤3K
式中,K為過濾器出廠時檢測合格的透過率;
    K′為過濾器的泄露濃度換算成的透過率;
    c1為過濾器上風側(cè)含塵濃度;
    c2為過濾器下風側(cè)含塵濃度。

 

 

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